特許
J-GLOBAL ID：200903097505086804
窒化アルミニウム焼結体およびその製法、並びにそれを用いた焼成用治具
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-107101
公開番号（公開出願番号）：特開平5-117038
出願日： 1992年04月27日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：
【要約】【構成】高純度のAlN粉末に焼結助剤を添加することなく成形体を作製し、これをカーボンを含まない窒素雰囲気にて焼成した後、さらにカーボンを含む窒素雰囲気で熱処理することにより、焼結体中の不純物を除去し、実質的に窒化アルミニウム単一相からなり、平均結晶粒径が9μm以上、アルミニウム以外の陽イオン金属不純物、Si,Fe,Caが特定値以下の高純度の緻密体を得ることにより、高温で応力印加した時のクリープ変形速度が非常に小さい焼結体を得、これを焼成用治具等の高温用材料として用いる。【効果】高温耐クリープ性に優れることから、高温で長時間応力が付加されるような構造材として好適に使用され、特に焼成用治具として用いた場合、成形体に悪影響を及ぼすことがなく、優れた耐久性を有する。
請求項（抜粋）：
実質的に窒化アルミニウム単一相からなり、平均結晶粒径が9μm以上、アルミニウム以外の陽イオン金属不純物が合計で0.3重量%以下、Siが1000ppm以下、Feが150ppm以下、Caが200ppm以下、カーボンが0.3重量%以下、相対密度が90%以上の焼結体であって、JISR1601による抗折試験片を1823K、10kg/mm2 の条件で応力印加した時のクリープ変形速度が2×10-8/sec以下であることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。
IPC (2件)：
C04B 35/58 104
, C04B 35/64
