真空高圧室シール手段

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：湯浅恭三 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-232845
公開番号（公開出願番号）：特開平9-079386
出願日： 1995年09月11日
公開日（公表日）： 1997年03月25日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】一つのシール手段で耐真空性及び耐高圧性を同時に兼ね備えているシール手段を提供する。【解決手段】スライドガイド16が、前記凹み20に収容されているその内面を常時その外表面26の方へ向かって弾性保持され、該外表面26が前記扉10を開閉する際に扉を滑動案内する機能を行っており、密封封止部材18を収容している前記凹み30が制御弁を介して加圧手段36又は減圧手段40へ連結されており、これらの加圧手段36又は減圧手段40を作動することにより、密封封止部材18を自由に該凹み30内にて出し入れ出来るようになっており、シール作業前にはスライドガイド16の外表面26が、密封封止部材18の先端部よりも前方に突き出しており、これにより扉10を開閉する場合には、該扉10と密封封止部材18との接触はないが、シール作業時には密封封止部材18の先端部が扉10の面に加圧接触するように移動する。

請求項（抜粋）：

内部で各種の処理加工を行う互いに隣接する室D,Eを扉10によって密封封止するための真空高圧室シール手段20であって、該室D,Eの側壁14の表面28に設けた凹み30内に収容されている密封封止部材18と、該側壁14の表面28において該凹み30に隣接して設けた別の凹み20内に収容されているスライドガイド16と、該室を閉鎖する扉10と、から成り、スライドガイド16が、前記凹み20に収容されているその内面を常時その外表面26の方へ向かって弾性保持され、該外表面26が前記扉10を開閉する際に扉を滑動案内する機能を行っており、密封封止部材18を収容している前記凹み30が制御弁を介して加圧手段36又は減圧手段40へ連結されており、これらの加圧手段36又は減圧手段40を作動することにより、密封封止部材18を自由に該凹み30内にて出し入れ出来るようになっており、シール作業前にはスライドガイド16の外表面26が、密封封止部材18の先端部よりも前方に突き出しており、これにより扉10を開閉する場合には、該扉10と密封封止部材18との接触はないが、シール作業時には密封封止部材18の先端部が扉10の面に加圧接触するように移動することを特徴とする真空高圧室シール手段20。

IPC (3件)：

F16J 15/40 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1339 505

FI (3件)：

F16J 15/40 Z , G02F 1/13 101 , G02F 1/1339 505

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