放射線検出装置及び放射線検出装置用接続基板の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：國分孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-086917
公開番号（公開出願番号）：特開2003-282849
出願日： 2002年03月26日
公開日（公表日）： 2003年10月03日
要約：

【要約】【課題】設計上の制限を抑制しながらX線照射に対する高い耐性を得ることができる放射線検出装置及び放射線検出装置用接続基板の製造方法を提供する。【解決手段】接続基板基台210には、平面視で等間隔の格子の交点に一致する位置に形成された複数個の開口部は、その厚さ方向、即ちX線の入射方向に対して傾斜する方向であって、互いに同一の方向に延びている。そして、前記格子の直線部分が延びる方向において隣り合う開口部同士が、平面視で互いに重なり合っている。これらの開口部内に放射線遮蔽電極211が埋め込まれている。従って、平面視で、格子の直線部分が延びる方向において隣り合う放射線遮蔽電極211同士が重なり合っている。X線1は、光電変換素子220を貫通して接続基板1101まで到達するが、放射線遮蔽電極211により遮蔽されるため、電荷転送回路のほとんどの領域にX線1は到達しない。

請求項（抜粋）：

放射線を電気信号に変換する光電変換素子と、複数個のトランジスタを備え前記光電変換素子から出力された電気信号を転送して外部に出力する電荷転送基板と、前記光電変換素子と前記電荷転送基板との間に配置され、前記光電変換素子から出力された電気信号を前記電荷転送基板まで伝達する複数個の電極を備えた接続手段と、を有し、前記電荷転送基板の前記複数個のトランジスタが形成された領域の全てが、前記放射線の入射方向から見たときに前記複数個の電極により覆われていることを特徴とする放射線検出装置。

IPC (5件)：

H01L 27/14 , G01T 1/24 , H01L 27/146 , H01L 31/09 , H01L 31/10

FI (5件)：

G01T 1/24 , H01L 27/14 K , H01L 31/00 A , H01L 31/10 H , H01L 27/14 F

Fターム (54件)：

2G088EE01 , 2G088FF02 , 2G088GG21 , 2G088JJ05 , 2G088JJ09 , 2G088JJ31 , 2G088JJ37 , 4M118AA01 , 4M118AA08 , 4M118AB01 , 4M118BA14 , 4M118BA19 , 4M118CA05 , 4M118CA32 , 4M118CB02 , 4M118CB14 , 4M118DD02 , 4M118DD12 , 4M118EA01 , 4M118EA02 , 4M118GA10 , 4M118HA26 , 4M118HA31 , 5F049MA04 , 5F049MB07 , 5F049PA04 , 5F049PA07 , 5F049PA14 , 5F049PA15 , 5F049RA02 , 5F049RA08 , 5F049SE05 , 5F049SE09 , 5F049SE17 , 5F049SS04 , 5F049UA14 , 5F049WA07 , 5F088AA03 , 5F088AB07 , 5F088BA13 , 5F088CB04 , 5F088CB07 , 5F088CB14 , 5F088CB15 , 5F088DA01 , 5F088EA04 , 5F088EA08 , 5F088EA16 , 5F088FA05 , 5F088FA09 , 5F088GA05 , 5F088KA03 , 5F088KA08 , 5F088LA08

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