特許
J-GLOBAL ID：200903097535734061
基板移載機のピッチ可変機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-337847
公開番号（公開出願番号）：特開平11-163096
出願日： 1997年11月21日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】基板移載機のピッチ可変機構に於いて製作を容易にし、低価格化及び納期の短縮化を図る。【解決手段】棒状のガイド31に複数のアームブロック37,39,45,47が摺動自在に設けられると共に回転アクチュエータ33の出力軸34にリンクアーム35が前記ガイドと交差する様に嵌着され、前記リンクアームと前記各アームブロックとを複数のリンク60,61,62,63により連結し、前記各アームブロックに基板搬送プレート69が取付けられ、前記リンクアームが前記回転アクチュエータにより前記出力軸を介して回転することにより前記アームブロックが前記ガイドに沿って昇降する。
請求項（抜粋）：
棒状のガイドに複数のアームブロックが摺動自在に設けられると共に回転アクチュエータの出力軸にリンクアームが前記ガイドと交差する様に嵌着され、前記リンクアームと前記各アームブロックとを複数のリンクにより連結し、前記各アームブロックに基板搬送プレートが取付けられたことを特徴とする基板移載機のピッチ可変機構。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 D
, B65G 49/07 L
