特許
J-GLOBAL ID：200903097543360944
探針走査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-212190
公開番号（公開出願番号）：特開平5-018708
出願日： 1991年08月23日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：
【要約】【目的】走査型プローブ顕微鏡に潜在的に存在するアクチュエータの非線形な変位を補正し定量精度をあげること。【構成】データトランスレータ24,27には、予め標準試料の走査により該探針走査装置のアクチュエータ及び走査範囲に対応した変換テーブルが作成される。画像バッファ22は、試料を走査する時の走査点で得られた各走査点毎の試料データを保存する。データトランスレータ24,27は、各走査点を上記予め作成されている変換テーブルで変換し、変換された走査点データを生成する。演算回路25は、データトランスレータ24,27からの上記走査点データに従って、上記試料データを更正する。
請求項（抜粋）：
二次元空間を走査し、試料表面の物理的情報を三次元像とする走査形プローブ顕微鏡用の探針走査装置に於いて、予め標準試料の走査により該探針走査装置の走査手段及び走査範囲に対応した走査標準テーブルを作成しておく走査標準テーブル作成手段と、試料を走査する時の走査点で得られた各走査点毎の試料データを、上記走査標準テーブル作成手段により作成された上記走査標準テーブルに基づいて更正された走査点に対応するよう移動させる演算手段と、を具備することを特徴とする探針走査装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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