特許
J-GLOBAL ID：200903097550231734
磁性薄膜及びそれを用いた磁気ヘッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-244262
公開番号（公開出願番号）：特開平7-106125
出願日： 1993年09月30日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：
【要約】【構成】Fe-Ta-Cを母組成とし、Cr,Al,Nb,Mo,Ruの内から選ばれる少なくとも一種類或いは二種類の元素を0.5at% から8at%の範囲で含み、この膜を窒素含有の雰囲気で作製し、合金中で窒素は原子状で存在するものと、窒化物として存在するものと窒素及び炭素が金属と結合したものとの三種類の状態で存在せしめた。【効果】記録膜の軟磁気特性を十分に確保しつつ、磁性膜の耐食性を向上させることができるので、高性能でしかも高信頼性を有する軟磁性膜が得られた。この材料を用いた磁気ヘッドは、高飽和磁束密度を有しているので、高密度磁気記録に適し、特に、ハイビジョンのディジタルVTR用の磁気ヘッドに好適である。
請求項（抜粋）：
FeにTaを5at%から20at%の範囲で、Cを1at%から20at%の範囲で、Cr,Al,Nb,Mo,Ruの内から選ばれる少なくとも一種類或いは二種類の元素を0.5at% から8at%の範囲で含む合金の薄膜において、成膜を窒素含有雰囲気で行った後に加熱処理を行い微結晶を析出させることにより、合金中に窒素が侵入型の固溶体もしくは窒化物として膜全体に均一に、或いは、結晶粒界に偏析して存在しており、かつ、合金を構成している金属元素の一部分が炭化物として結晶粒界に偏析して存在していることを特徴とする磁性薄膜。
IPC (6件)：
H01F 10/14
, C23C 14/14
, G11B 5/127
, G11B 5/23
, G11B 5/31
, H01F 41/18
