特許

J-GLOBAL ID：200903097564178054

反射鏡

発明者： 辻村 歩 ,  大川 和宏 ,  吉井 重雄 ,  三露 常男
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-145999
公開番号（公開出願番号）：特開平7-007225
出願日： 1993年06月17日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：

【要約】【目的】 可視短波長領域で動作するII-VI 族化合物半導体発光素子の光出力の有効な取り出しに不可欠な、光出射面の低反射率反射鏡を提供する。【構成】 ZnSe系レーザーダイオード7のへき開した端面に、それぞれ発振波長の1/2倍、1/4倍および1/4倍の光学厚さであるAl2 O3 膜8、MgO膜9およびAl2 O3 膜10を順に設けた反射鏡を形成し、端面反射率4%を得た。前記積層構造の反射鏡は、高周波マグネトロンスパッタリングを用いた。

請求項（抜粋）：

II-VI 族化合物半導体からなる発光素子の光出射面に、酸化アルミニウム(Al2 O3 )、フッ化セリウム(CeF3 )、酸化マグネシウム(MgO)、酸化ガドリニウム(Gd2 O3 )及び酸化スカンジウム(Sc2 O3)から選ばれる少なくとも1種類の誘電体の層を設けた反射鏡。

IPC (2件)：

H01S 3/18 ,  H01L 33/00