表面検査方法及び装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-264113
公開番号（公開出願番号）：特開2003-075357
出願日： 2001年08月31日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：

【要約】【課題】インクジェット用紙のような反射率が高いが拡散性が低い表面(表面ツルツル)を有する検査物、あるいは感光材料のような反射率が低いが拡散性が高い表面(表面ザラザラ)を有する検査物上にある凹凸状欠陥検出を可能にする表面検査方法及び装置を提供する。【解決手段】検査物の検査面に光源から光を照射し、反射光を集光し、正常な検査面からの光量と欠陥がある検査面からの光量との差異を解析して前記検査面の表面欠陥を検出する表面検査方法において、検査面から集光できる光の光軸に対する広がり角度である見込み角をパラメータとして採用し、該見込み角を検査物の表面光沢度70%以上または10%未満の場合に±2°に設定することを特徴とする表面検査方法。

請求項（抜粋）：

検査物の検査面に光源から光を照射し、反射光を集光し、正常な検査面からの光量と欠陥がある検査面からの光量との差異を解析して前記検査面の表面欠陥を検出する表面検査方法において、検査面から集光できる光の光軸に対する広がり角度である見込み角をパラメータとして採用し、該見込み角を検査物の表面光沢度70%以上または10%未満の場合に±2°に設定することを特徴とする表面検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/892 , G01B 11/30

FI (2件)：

G01N 21/892 A , G01B 11/30 A

Fターム (38件)：

2F065AA49 , 2F065BB13 , 2F065BB15 , 2F065CC02 , 2F065FF17 , 2F065FF44 , 2F065FF67 , 2F065GG04 , 2F065GG23 , 2F065HH04 , 2F065LL01 , 2F065LL08 , 2F065LL15 , 2F065LL22 , 2F065LL62 , 2F065MM16 , 2F065PP16 , 2F065QQ13 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 2F065QQ27 , 2F065RR06 , 2F065SS06 , 2F065SS13 , 2G051AA34 , 2G051AB07 , 2G051BA08 , 2G051BA10 , 2G051BB09 , 2G051BC06 , 2G051CA03 , 2G051CB01 , 2G051CC07 , 2G051CC17 , 2G051DA06 , 2G051EA08 , 2G051EB01 , 2G051EC05

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