特許

J-GLOBAL ID：200903097575521052

誘電体バリヤ放電ランプ用放電体、誘電体バリヤ放電ランプ、誘電体バリヤ放電ランプ装置および紫外線照射装置

発明者： 井上 昭浩 ,  湯浅 邦夫 ,  大西 博 ,  川鶴 滋久
出願人/特許権者： 東芝ライテック株式会社
代理人 (1件)： 小野田 芳弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-083287
公開番号（公開出願番号）：特開平11-031480
出願日： 1998年03月30日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】所要方向へ放射を効率よく導出でき、種々の形状に形成できて、製作が容易で、堅牢で、取扱いを容易にする。【解決手段】絶縁性基体1aの表面に複数の対向電極1bを形成し、誘電体膜1cで被覆した放電体1で、エキシマ生成ガスを導入した放電室に収納し、放電室には放電体の対向電極に対向する放射導出窓を備えた誘電体バリヤ放電ランプを構成し、放電体の対向電極を形成してある領域の全体から均一にエキシマ発光を得、放射導出窓から外部にそのまま導出する。エキシマ生成ガスは、供給式、封じ切り式のいずれでもよい。誘電体バリヤ放電ランプ装置は、誘電体バリヤ放電ランプ及び高周波発生手段により構成される。紫外線照射装置は、エキシマ生成ガス供給式の誘電体バリヤ放電ランプを用いて、さらに紫外線照射室に不活性ガスを導入しながら紫外線照射を行う。

請求項（抜粋）：

絶縁性基体と;絶縁性基体の表面に形成された複数の対向電極と;対向電極を被覆して絶縁性基体に被着された誘電体膜と;とを具備し、エキシマ生成ガス雰囲気中で作動するように構成されていることを特徴とする誘電体バリヤ放電ランプ用放電体。

IPC (3件)：

H01J 65/00 ,  G21K 5/00 ,  H01J 61/16

FI (3件)：

H01J 65/00 A ,  G21K 5/00 Z ,  H01J 61/16 F