特許
J-GLOBAL ID：200903097581590856
処理室内監視装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-154827
公開番号（公開出願番号）：特開平7-029882
出願日： 1993年06月25日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【目的】 製品着工枚数に関係なく、エッチング処理室内の生成物の堆積状態に応じてクリーニング時期の到来を判断する。【構成】 下部電極10と上部電極11を備えて真空に保持されるエッチング処理室1に設けた透明な検出窓2に臨んで処理室内に生成されるプラズマの発光スペクトルを検出する光電変換手段4と、光電変換手段の検出信号から発光スペクトルの波形を抽出する波形抽出手段7と、波形抽出手段で抽出された波形の分光特性を解析して前記エッチング処理室のクリーニング時期を判断する波形解析手段8とを備えた。【効果】 エッチング処理室のクリーニングを最適時期に行い、、エッチング処理製品のスループットを向上させた処理室内監視装置を提供できる。
請求項（抜粋）：
下部電極と上部電極を備えて真空に保持されるエッチング処理室に設けた透明な検出窓と、前記検出窓に臨んで前記処理室内に生成されるプラズマの発光スペクトルを検出する光電変換手段と、前記光電変換手段の検出信号から前記発光スペクトルの波形を抽出する波形抽出手段と、前記波形抽出手段で抽出された波形の分光特性を解析して前記エッチング処理室のクリーニング時期を判断する波形解析手段とを備えた処理室内監視装置。
FI (2件)：
H01L 21/302 E
, H01L 21/302 N
