特許
J-GLOBAL ID：200903097588074446
微小領域X線回折装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-052541
公開番号（公開出願番号）：特開平9-222401
出願日： 1996年02月16日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：
【要約】【課題】 試料のX線照射領域のうちの限られた微小領域からの回折X線だけを湾曲結晶モノクロメータで反射させて検出することにより、1μm以下の微小領域についてのX線回折情報を得る。【解決手段】 ヨハンソン型の湾曲結晶モノクロメータ48は、その集中円50が試料36上のX線照射領域を通過するように配置されている。X線源38から放出されたX線は、孔径10μmのコリメータ40で細いビームに絞られて試料36に照射される。試料36からの回折X線58のうち、1μm以下の微小な目標点42からの回折X線だけが、湾曲結晶モノクロメータ48での反射条件を満足して反射し、これがX線検出器52で検出される。
請求項（抜粋）：
X線源と、このX線源から放出されるX線を細いビームに絞って試料に照射するコリメータと、前記試料を少なくとも二つの回転軸線の回りに回転可能に保持する試料台と、前記試料からの回折X線を反射させるヨハンソン型の湾曲結晶モノクロメータと、前記湾曲結晶モノクロメータからの反射X線を検出するX線検出器とを備え、前記湾曲結晶モノクロメータの集中円が前記試料のX線照射領域を通過するように前記湾曲結晶モノクロメータが配置されていることを特徴とする微小領域X線回折装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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