移動レンズマルチビームスキャナを備えたウェハ欠陥検出システム

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：長谷川芳樹 , 山田行一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-580838
公開番号（公開出願番号）：特表2005-521064
出願日： 2003年03月14日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：

光ビーム(151)を供給するためのレーザ光源(101)を使用する、半導体ウェハ(108)などの標本検査システム。ビーム(151)は、活性領域を有し、複数の移動レンズを活性領域に選択的に生成するようにRF入力信号に対して応答する移動レンズ音響光学デバイス(104)に適用される。移動レンズ音響光学デバイス(104)は、生成された移動レンズの各々の焦点のそれぞれで、光ビーム(151)を受け、複数のフライングスポットビームを生成するように動作する。使用可能な走査データを生成するために、複数の検出器セクションを有する光検出器ユニット(110)が使用され、各検出器セクションは、複数の光検出器と、複数の光検出器からの入力を並列に受けるように動作する少なくとも1つのマルチステージ格納デバイスとを有する。格納デバイスの各々に格納された情報は、複数のステージから同時に連続して読み出される。

請求項（抜粋）：

音響光学デバイスであって、音波が伝播する活性領域を有する結晶媒体と、 RF入力を受け、音波の伝播方向の一端に位置するRF入力部分と、前記光源から光を受け、音波の前記伝播方向に対して横断する位置にある光入力部分と、光出力部分とを備え、前記RF入力部分へ入力される一連の周期的なRFパルスが、前記活性領域に同時に存在する移動レンズのシーケンスを生成するように動作し、前記移動レンズが、前記光入力部分で入力された光を受け、前記光出力部分で出力されたスポットビームを生成するように動作する、デバイス。

IPC (3件)：

G01N21/956 , G01B11/30 , H01L21/66

FI (3件)：

G01N21/956 A , G01B11/30 A , H01L21/66 J

Fターム (40件)：

2F065AA01 , 2F065AA21 , 2F065AA49 , 2F065BB02 , 2F065CC19 , 2F065FF41 , 2F065GG04 , 2F065HH04 , 2F065HH16 , 2F065HH17 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ17 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL10 , 2F065LL20 , 2F065LL41 , 2G051AA51 , 2G051AA56 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051BA05 , 2G051BA10 , 2G051BB05 , 2G051BC05 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CB02 , 2G051CC12 , 2G051CD03 , 2G051ED07 , 4M106AA01 , 4M106BA05 , 4M106BA07 , 4M106CA38 , 4M106DB04 , 4M106DB08 , 4M106DB12

引用特許：

審査官引用 (11件)

3次元画像生成方法及び装置
公報種別：公表公報出願番号：特願平10-532663 出願人：ソニーインターナショナル(ヨーロッパ)ゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング, ホログラフィカ
特開昭61-232427
特開昭61-232428

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