特許
J-GLOBAL ID：200903097590941602
分光型エリプソメータ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
縣 浩介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-313485
公開番号（公開出願番号）：特開平5-126641
出願日： 1991年10月31日
公開日（公表日）： 1993年05月21日
要約：
【要約】【目的】 分光型エリプソメータで偏光子3,試料5,検光子6を通って来た光を分光器9に入れる場合、分光器の偏光特性の影響を除く。【構成】 分光器9と検光子6との間に1/4波長素子7を置いて分光器に入射する光を円偏光とした。
請求項（抜粋）：
検光子と分光器との間に方位軸が検光子の方位軸に対し45度傾いた関係で1/4波長素子を挿入し、この1/4波長素子を検光子と一体的に回転可能としたことを特徴とする分光型エリプソメータ。
IPC (2件)：
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