特許

J-GLOBAL ID：200903097596295362

光偏向器およびそれを用いた表示装置

発明者： 八木 隆行 ,  山本 智子 ,  高木 博嗣
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-227205
公開番号（公開出願番号）：特開平7-084196
出願日： 1993年09月13日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：

【要約】【目的】 ミラー面積を小型化し、実効電圧を大きく取れ、光書き込み式の駆動で偏向角を制御できる機械式の光偏向器およびそれを用いた表示器。【構成】 光偏向器は、光透過性の基板の上面に形成され、照射される光の量により抵抗値を変化させる光検出部11,12,13と、基板上の光検出部と空隙をもって対向するように配置され、光検出部と電気的に直列接続された光偏向板16の一端を自由端として支持する機械可動部16,17,18と、光検出部と光偏向板とに直列に電圧を印加する電圧印加手段とを具備し、基板の下面から制御光が照射されると、光検出部の抵抗値が低下し、電圧印加手段が印加する電圧のうち光偏向板に印加される比率が増加することにより、光偏向板の自由端は光検出部側に吸引され、光偏向板は支持端中心に傾き、基板の第1の面側から入射される投影光を光偏向板の傾きに応じて偏向反射させる。

請求項（抜粋）：

光透過性の基板の第1の面に形成され、照射される光の量により抵抗値を変化させる光検出部と、基板の第1の面上の光検出部と空隙をもって対向するように配置され、光検出部と電気的に直列接続された電気導電体薄膜からなる光偏向板を含むとともに、光偏向板の一端を自由端とし自由端と対向する他端を支持端として支持する機械可動部と、光検出部と光偏向板とに直列に電圧を印加する電圧印加手段とを具備し、基板の第1の面に対向する第2の面側から制御光が照射されると、光検出部の抵抗値が低下し、電圧印加手段が印加する電圧のうち光偏向板に印加される比率が増加することにより、光偏向板の自由端は光検出部側に吸引され、光偏向板は支持端中心に傾き、基板の第1の面側から入射される投影光を光偏向板の傾きに応じて偏向反射させる光偏向器。