照明光学装置及び該照明光学装置を備えた露光装置並びに露光方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-345613
公開番号（公開出願番号）：特開平11-174365
出願日： 1997年12月15日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：

【要約】【課題】コヒーレンンシーの低減を十分に行った照明光学装置を提供する。【解決手段】コヒーレント光源と、該コヒーレント光源からの光束を2方向に分割し、分割された一方の光束は可干渉光路長以上の光路を通過させる光遅延素子と、を有する照明光学系において、前記光遅延素子を少なくとも2つ以上配置し、nを適当な数値とし、第1番目の光遅延素子の遅延光路長をn×dとしたとき、第m番目の光遅延素子の遅延光路長を3×(m-1)×n×dとする照明光学装置を提供する。

請求項（抜粋）：

コヒーレント光源と、該コヒーレント光源からの光束を2方向に分割し、分割された一方の光束は可干渉光路長以上の光路を通過させる光遅延素子と、を有する照明光学系において、前記光遅延素子を少なくとも2つ以上配置し、nを適当な数値とし、第1番目の光遅延素子の遅延光路長をn×dとしたとき、第m番目の光遅延素子の遅延光路長を3×(m-1)×n×dとすることを特徴とする照明光学装置。

IPC (3件)：

G02B 27/00 , G03F 7/20 521 , H01L 21/027

FI (4件)：

G02B 27/00 V , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 515 D , H01L 21/30 527

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