特許
J-GLOBAL ID：200903097604242664
波数ドメイン反射率計および背景振幅の減少および補償を使用する共焦干渉顕微鏡のための方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
社本 一夫 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-552462
公開番号（公開出願番号）：特表2002-517710
出願日： 1999年05月26日
公開日（公表日）： 2002年06月18日
要約：
【要約】【解決手段】 対象(112)内及び又は該対象上の領域の焦点内画像は、広帯域点光源(90)からプローブビーム(P22B)及び参照ビーム(R22B)生成することにより対象の画像情報の誤差を減少するように焦点外画像から識別される。このとき、参照ビーム(R32B)に反対称空間特性を生成し、プローブビームを該領域のラインに合焦したビームに変換し、焦合戻りプローブビームを生成し、該焦合戻りプローブビーム(P32B)に反対称空間特性を生成する。次に、焦合戻りプローブビームは、空間フィルター処理され(P42A)、検出器システム(114)の検出器平面内のラインにそれ(P42A)を合焦するため分散エレメントを通過される。参照ビームは、空間フィルター処理され(R42A)、検出器平面内のラインにそれ(R42A)を合焦するため分散エレメントを通過される。焦点外画像点からのビームが空間フィルター処理され(P62A)、分散エレメント(P62C)を通過される。検出器平面内で空間フィルター処理された参照ビーム(R42C)は、検出器平面内で空間フィルター処理された、焦点外画像点からのビーム(P62C)及び焦合戻りプローブビーム(P42C)と干渉される。空間フィルター処理された焦合戻りプローブビーム(P42C)の振幅は、検出器平面内で空間フィルター処理された、焦合戻りプローブビーム(P42C)及び参照ビーム(R42C)の間の干渉項として検出器システム(114)により検出される。これによって検出器平面内で空間フィルター処理された、焦点外画像ビーム(P62C)及び参照ビーム(R42C)の振幅の間の干渉項の振幅は実質的に減少され、対象の画像情報を表すため検出器システム(114)により生成されたデータの誤差を減少させる。
請求項（抜粋）：
対象の画像情報における誤差を減少するように該対象内及び又は該対象上にある領域の焦合画像を焦点外画像から識別するための方法において、(a)単色点光源からプローブビーム及び参照ビームを発生する工程と、(b)前記参照ビームに反対称空間特性を生じる工程と、(c)前記プローブビームを前記領域内又は該領域上の焦合画像点に差し向けることによって焦合戻りプローブビームを発生する工程と、(d)前記焦合戻りプローブビームに反対称空間特性を生じる工程と、(e)工程(b)の参照ビームを焦点外画像点からのビームと干渉させる工程と、(f)工程(b)の参照ビームを工程(d)の焦合戻りプローブビームと干渉させる工程と、(g)検出器システムの手段によって、工程(b)の参照ビーム及び工程(d)の焦合戻りプローブビームの間の干渉項として焦合戻りプローブビームの振幅を検出し、焦点外画像ビームの振幅及び工程(b)の参照ビームの振幅との間の干渉項が、前記検出器システムにより生成されたデータの誤差を減少させて画像情報を表すため実質的に減少する、工程と、を含む方法。
IPC (9件)：
G01B 11/00
, G01B 9/02
, G01J 3/51
, G01N 21/17 620
, G01N 21/27
, G02B 21/00
, G03F 9/00
, G11B 7/0065
, H01L 21/027
G01B 11/00 G
, G01B 11/00 H
, G01B 9/02
, G01J 3/51
, G01N 21/17 620
, G01N 21/27 E
, G02B 21/00
, G03F 9/00 H
, G11B 7/0065
, H01L 21/30 525 R
