特許
J-GLOBAL ID：200903097610953823
コンタクトプローブおよびその製造方法、並びにコンタクトプローブを備えたプローブ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-019483
公開番号（公開出願番号）：特開平10-221370
出願日： 1997年01月31日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：
【要約】【課題】 各コンタクトピンの先端を研磨することなく高さを均一に揃えて、各コンタクトピンが同時にパッドに接触して、接触精度を向上させる。【解決手段】 マスク露光技術を用いて、コンタクトピン3aをその先端部(本例ではタングステン製のボール)3Tが本体部3Kより下方へ垂直に突出した状態で一体成形するので、各先端部3Tの寸法を高精度にして各先端部3Tの高さを揃えることができ、従来のような研磨が不要になる。パッドが例えば軟質な金により形成されている場合、コンタクトプローブをパッド面に対して平行に配設し、オーバードライブをかけるだけで、前記先端部3Tがパッド表面の酸化膜のみを除去し、パッドの下地に確実に接触する。ピンの先端を研磨する必要がない上に、コンタクトプローブを傾斜配置させる必要もなく、従来に比べて、コンタクトプローブを組み込むための部品や治具等の構造が単純化される。
請求項（抜粋）：
複数のパターン配線(3)がフィルム(2,201,201a)上に形成されこれらのパターン配線(3)の各先端が前記フィルム(2,201,201a)から突出状態に配されてコンタクトピン(3a)とされるコンタクトプローブ(1,200)であって、前記コンタクトピン(3a)は、その本体部(3K)に対して先端部(3T)が下方へ垂直に突出した状態で一体成形されたものであり、かつ前記先端部(3T)は前記本体部(3K)よりも硬くかつ導電性の材料で形成されていることを特徴とするコンタクトプローブ。
IPC (5件)：
G01R 1/073
, G01R 31/26
, G01R 31/28
, H01L 21/60 311
, H01L 21/66
G01R 1/073 D
, G01R 31/26 J
, H01L 21/60 311 W
, H01L 21/66 B
, G01R 31/28 K
