特許
J-GLOBAL ID:200903097626981410

二重封じ込め式高純度流体用弁

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 倉内 基弘 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-235162
公開番号(公開出願番号):特開平6-058459
出願日: 1992年08月12日
公開日(公表日): 1994年03月01日
要約:
【要約】【目的】 二重封じ込め式でありしかも高純度流体の汚染を防止しうるベロー式シールド弁の開発。【構成】 弁はパイプ14を通しての流れを遮断するため弁座18と密閉状態で係合する封着部材16を含んでいる。制御ロッド24が封着部材を移動する。第1ベロー22が弁軸ハウジング20の端と封着部材16との間に連結される。パイプ14及び弁が外側シェル30内に包囲される。第1ベロー22の内側に第2ベロー34を設置する。ベロー間の空間36は弁と外側シェル30との間の空間38と流通している。流体はそれが大気に漏出する前に金属製の別々の二重の壁を通過しなければならない。即ち、流体はベロー構造の弁において二重に封じ込められ、しかもベローの使用によりO-リング或いはパッキングランドを使用する必要性が排除されるので、それらによる流体の汚染を防止しうる。
請求項(抜粋):
内部通路と該内部通路を取り巻く弁座とを構成する本体と、該内部通路を通しての流体の流れを阻止するよう弁座と密閉係合状態にまた該内部通路を通しての流体の流れを許容するよう密閉係合状態から離れて移動しうる封着部材と、本体開口と、該封着部材の移動を与えるよう該開口周囲に該本体内に伸延しそして該密閉部材を該本体に連結する第1のベローとを具備する、O-リング或いはパッキングランドを使用しない型式のシールド弁において、前記シールド弁本体を取り巻きそして前記本体開口と整列する孔を具備する外側シェルと、該外側シェル孔周囲で前記第1のベロー内部に伸延しそして該外側シェルを前記封着部材に連結する第2のベローとを備え、該外側シェルと第2ベローとが前記弁本体と第1のベローとを完全に包囲することを特徴とするシールド弁。

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