特許
J-GLOBAL ID：200903097629931472
ECRイオン源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-322066
公開番号（公開出願番号）：特開平9-161688
出願日： 1995年12月11日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】 ECRイオン源の多価イオンの生成効率が悪かった。【解決手段】 この発明のECRイオン源は、ミラー磁石2と六極磁石との合成磁界でプラズマが閉じ込められるプラズマ室4内にプラズマ生成に必要なガスを供給するガス導入管20を備えたECRイオン源において、ガス導入管20は、その先端部がプラズマ室4に合成磁界で形成される2ndステージのECR(電子サイクロトロン共鳴)ゾーン11の外周11aに指向して設けられたものである。
請求項（抜粋）：
ミラー磁石とカスプ磁石との合成磁界でプラズマが閉じ込められるプラズマ室内にプラズマ生成に必要なガスを供給するガス導入管を備えたECRイオン源において、前記ガス導入管は、その先端部が前記プラズマ室に前記合成磁界で形成される2ndステージのECR(電子サイクロトロン共鳴)ゾーンの外周に指向して設けられたことを特徴とするECRイオン源。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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