特許
J-GLOBAL ID:200903097635763328

高耐食性ベローズ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 林 敬之助
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-282536
公開番号(公開出願番号):特開平9-176766
出願日: 1996年10月24日
公開日(公表日): 1997年07月08日
要約:
【要約】【課題】 半導体製造に使用する腐食性の非常に強いガスの供給系や腐食性化学薬液のプラント等のバルブやフレキシブル継ぎ手に用いる、ベローズの耐食性、機械的強度、耐久性を改善する。【解決手段】 加工硬化及び時効硬化型Co基合金、例えば、組成は重量比で少くとも、Co36〜46%、Ni14〜28%、Cr10〜22%、Mo3〜8%、Mn、Si、Ti、Alの1種以上各0.1〜3.0%、Fe4〜26%、C≦0.2%、及び不可避不純物より成るCo基合金、または、加工硬化及び時効硬化型Co-Ni基合金、例えば、組成は重量比で少なくとも、Co28〜40%、Ni26〜45%、Cr18〜25%、Mo7〜12%、Mn、Tiの1種以上各0.1〜1.0%、Fe1.1〜3.0%、Nb0.5〜2.0%、C≦0.05%、及び不可避不純物から成るCo-Ni基合金を用いてベローズに加工する。
請求項(抜粋):
加工硬化及び時効硬化型Co基合金を用いることを特徴とするベローズ。
IPC (3件):
C22C 19/07 ,  C22C 30/00 ,  F16J 3/04
FI (3件):
C22C 19/07 Z ,  C22C 30/00 ,  F16J 3/04 A
引用特許:
審査官引用 (6件)
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