カラーフィルターの製造方法およびカラーフィルターの製造装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中島淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-335330
公開番号（公開出願番号）：特開2000-162420
出願日： 1998年11月26日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】基板の背面側から露光する場合に生じる、基板の厚さに依存した光学的回折を防止し、各画素のエッジ部がシャープなカラーフィルターを製造する方法を提供すること。【解決手段】光透過性支持体11上に、光透過性の導電膜12、および光起電力機能を有する光半導体薄膜13を順次積層した基板10を、色材を含有する電着材料を含む電解液22に、少なくとも光半導体薄膜13が接触するように配置し、支持体11側から選択的に光を照射し、前記光半導体薄膜13の光照射部に光起電力を発生させ、電気化学的に前記電着材料を析出させて着色電着膜21からなるカラーフィルター層を形成する工程を含むカラーフィルターの製造方法であって、支持体11側から選択的に照射された光を、結像光学系レンズ31および32により前記光半導体薄膜13の表面に結像させることを特徴とするカラーフィルターの製造方法である。

請求項（抜粋）：

光透過性支持体上に、光透過性の導電膜、および光起電力機能を有する光半導体薄膜を順次積層した基板を、色材を含有する電着材料を含む電解液に、少なくとも光半導体薄膜が接触するように配置し、支持体側から選択的に光を照射し、前記光半導体薄膜の光照射部に光起電力を発生させ、電気化学的に前記電着材料を析出させて着色電着膜からなるカラーフィルター層を形成する工程を含むカラーフィルターの製造方法であって、支持体側から選択的に照射された光を、結像光学系により前記光半導体薄膜の表面に結像させることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。

Fターム (5件)：

2H048BA62 , 2H048BB02 , 2H048BB07 , 2H048BB42 , 2H048BB46

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-104101
画像形成方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-274768 出願人：富士ゼロックス株式会社
特開平3-263002

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