粘性材料塗布装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-080247
公開番号（公開出願番号）：特開平6-269719
出願日： 1993年03月16日
公開日（公表日）： 1994年09月27日
要約：

【要約】【目的】一定流量の粘性材料供給装置を用いて定量塗布を可能にする装置を提供すること。【構成】水平多関節ロボット5と、粘性材料供給装置6と、ロボット手先の移動速度を制御する加減速制御部3と、粘性材料供給装置6へ塗布開始、終了を指令し、加減速制御部3へ移動速度指令を与える塗布時刻管理部2とを備え、加減速制御部3は、塗布時刻管理部2から送られる設定速度V(s)と動作開始指令に従い水平多関節ロボット5を動作させ、粘性材料供給装置6は、塗布時刻管理部2から送られる塗布開始指令により、粘性材料の供給を開始し、塗布時刻管理部2から送られる塗布終了指令により粘性材料の供給を停止する粘性材料塗布装置であって、塗布開始時点の不定流量時の影響を考慮した速度で水平多関節ロボットが移動する。

請求項（抜粋）：

ロボットと、粘性材料供給装置と、ロボット手先の移動速度を制御する加減速制御部と、粘性材料供給装置へ塗布開始、終了を指令し、加減速制御部へ移動速度指令を与える塗布時刻管理部とを備え、前記加減速制御部は、前記塗布時刻管理部から送られる設定速度関数Vs(S)と動作開始指令に従いロボットを動作させ、前記粘性材料供給装置は、前記塗布時刻管理部から送られる塗布開始指令により、粘性材料の供給を開始し、前記塗布時刻管理部から送られる塗布終了指令により粘性材料の供給を停止する粘性材料塗布装置。

IPC (6件)：

B05C 5/00 , B23K 3/00 , B25J 9/16 , H01L 21/52 , H01L 21/56 , H05K 1/18

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