特許
J-GLOBAL ID：200903097641294771
アライメント誤差検出装置およびアライメント誤差検出方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-194992
公開番号（公開出願番号）：特開2005-032911
出願日： 2003年07月10日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：
【課題】アライメントマークからの散乱光の配向分布が変化することによるアライメントマークの位置検出誤差を検出することができるアライメント誤差検出装置およびアライメント誤差検出方法を提供する。【解決手段】ウエハWの法線VLに対して対称に配置された2つの検出光学系10-1,10-2により、アライメントマークWAの位置が検出される。処理部40により、検出位置の和が求められる。2つの検出光学系は対象に配置されていることから、基準位置からのアライメントマークの位置ずれΔxがあったとしても、位置ずれΔxは2つの検出光学系では正負は異なるが絶対値の等しい関係にあるため、検出位置の和を求めることで消去される。従って、検出位置の和は一定になるはずであり、検出位置の和の変化量はアライメントマークからの散乱光の配向変化に起因する位置検出誤差に相当するものといえる。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
被処理体に形成されたアライメントマークからの散乱光を斜方から観察するアライメント光学系における、前記散乱光の配向分布の変化による前記アライメントマークの位置検出誤差を検出するアライメント誤差検出装置であって、
前記被処理体の法線に対して対称に配置され、前記アライメントマークを斜方から観察する2つの検出光学系と、
2つの前記検出光学系からの前記アライメントマークの検出位置の和を求め、前記検出位置の和に基づいて前記位置検出誤差を検出する誤差検出部と
を有するアライメント誤差検出装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/30 541K
, G03F9/00 H
, H01L21/30 510
5F046BA02
, 5F046ED01
, 5F046FA03
, 5F046FA10
, 5F046FA17
, 5F046FC04
, 5F046FC05
, 5F046GA02
, 5F046GA18
, 5F046GD10
, 5F056AA25
, 5F056BA10
, 5F056BB10
, 5F056BD02
, 5F056BD05
, 5F056FA06
