特許

J-GLOBAL ID：200903097648615662

ロードロック室及び真空処理装置

発明者： 石田 敏道 ,  渡辺 利幸
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-223795
公開番号（公開出願番号）：特開2000-054130
出願日： 1998年08月07日
公開日（公表日）： 2000年02月22日
要約：

【要約】【課題】 基板の各種サイズに対応でき、発塵が少なく、高い基板位置決め精度と信頼性を有するロードロック室を提供する。【解決手段】 ロードロック室1a内の基板2の対角のコーナーに配設される基板位置決め手段25を、基板2を規正するローラ(規正部材)8aを先端に取付けた旋回アーム16と、旋回アーム16を旋回駆動する旋回駆動軸17と、その回転駆動手段18と、ロードロック室1aの底壁に形成した貫通穴20に回転可能に配設したフランジ19にて構成し、旋回駆動軸17をフランジ19の軸芯から偏芯した位置を貫通させて回転駆動手段18を室外に配設することにより、発塵を少なくするとともに、フランジ19を回転することにより基板サイズに応じて旋回駆動軸17を任意の位置に移動できるようにした。

請求項（抜粋）：

基板を搬入出する出入口に設けられたゲートバルブと、室内に搬入された角形基板の対角部に対応させて配設された基板位置決め手段とを備えた真空排気可能な真空処理装置用のロードロック室において、基板位置決め手段を、先端に規正部材を取り付けた複数の旋回アームと、ロードロック室の底壁を貫通して配設された旋回アームの旋回駆動軸と、ロードロック室の室外に配設された旋回駆動軸の回転駆動手段にて構成したことを特徴とするロードロック室。

IPC (3件)：

C23C 14/56 ,  C23C 16/458 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

C23C 14/56 G ,  C23C 16/44 H ,  H01L 21/68 A

Fターム (21件)：

4K029BD01 ,  4K029KA01 ,  4K029KA09 ,  4K030GA12 ,  4K030KA28 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA20 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA47 ,  5F031MA04 ,  5F031MA09 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031NA04 ,  5F031NA07 ,  5F031NA20 ,  5F031PA18