特許
J-GLOBAL ID：200903097654043514
走査型探針顕微鏡の制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-231399
公開番号（公開出願番号）：特開平7-083607
出願日： 1993年09月17日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：
【要約】【目的】 原子間力顕微鏡像と走査トンネル顕微鏡像を同じ探針で同時に得ることが可能な走査型探針顕微鏡の制御方法を提供する。【構成】 物質表面の各測定点において、導電性針先部1と物質表面4との間にバイアス電圧を印加し、これらを相対的に接近させつつ、これらの間に流れるトンネル電流を測定し、その値が所定値になった時点での導電性針先部1のZ軸方向の位置を走査トンネル顕微鏡データとする。次に、バイアス電圧を切り、導電性針先部1を物質表面4に接触させ、カンチレバー3の自由端のたわみ量を測定し、たわみ量が所定値になった時点でのカンチレバー3のZ軸方向の変位量を原子間力顕微鏡データとする。
請求項（抜粋）：
物質表面の各測定点において、カンチレバーの自由端近傍に設けられた導電性針先部と物質表面との間にバイアス電圧を印加し、前記導電性針先部を前記物質表面に接近または接触させ、前記導電性針先部と前記物質表面との間に流れるトンネル電流及び前記導電性針先部と前記物質表面との間に生じる力を検出しつつ前記物質の表面状態を計測する走査型探針顕微鏡の制御方法であって、前記各測定点において、前記導電性針先部と前記物質表面とが離れた状態から前記物質表面と前記カンチレバーの固定端とを相対的に接近させ、前記トンネル電流と前記導電性針先部と前記物質表面との間に生じる力とを測定することを特徴とする走査型探針顕微鏡の制御方法。
IPC (3件)：
G01B 7/34
, G01B 21/30
, H01J 37/28
