特許

J-GLOBAL ID：200903097657973644

オゾン洗浄装置

発明者： 稲熊 康詞 ,  宮崎 稔久 ,  江里口 一博
出願人/特許権者： 株式会社中央製作所
代理人 (1件)： 名嶋 明郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-285533
公開番号（公開出願番号）：特開平11-113546
出願日： 1997年10月17日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：

【要約】【課題】オゾン水による洗浄操作を連続的に行うことができ、オゾン濃度を適宜に調節することが可能となる。【解決手段】洗浄槽3、循環槽4とオゾン水製造装置5とともに、オゾン水製造装置5、配管51、切換バルブ52、配管54、循環槽4、切換バルブ55、循環ポンプ56、オゾン水製造装置5の順にオゾン水が循環する循環水路が形成され、この循環水路には、循環オゾン水のオゾン濃度を測定するためのオゾン濃度センサ6が配管51に接続されて配備してあり、また、前記切換バルブ52から分岐する配管53が洗浄槽3に接続され、洗浄オゾン水供給水路が配備されている。

請求項（抜粋）：

洗浄槽に所定のオゾン濃度の洗浄オゾン水を供給するようにしたオゾン洗浄装置であって、オゾン水製造装置で得られるオゾン水を循環槽に供給して、一旦貯めるとともに、この循環槽から貯溜オゾン水を前記オゾン水製造装置に返送して循環させる循環水路を備え、この循環水路には、この循環オゾン水のオゾン濃度を測定するオゾン濃度センサを備えるとともに、所定の濃度のオゾン水を洗浄槽に供給するための洗浄オゾン水供給水路を備えたことを特徴とするオゾン洗浄装置。

IPC (3件)：

A23L 3/358 ,  A23N 12/00 ,  A23B 7/153

FI (3件)：

A23L 3/358 ,  A23N 12/00 ,  A23B 7/156