特許
J-GLOBAL ID：200903097662780943
プローブカード及び検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-349498
公開番号（公開出願番号）：特開平7-201935
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：
【要約】【目的】 複数のプローブユニットを組み合わせてプローブカードを構成することにより、1回または少数回(例えば2〜3回)の接触でウェーハ上のすべてのチップに接触可能にして、検査時間を短縮する。【構成】 ウェーハ12には5行×11列のチップ14が形成されており、これに対応して、プローブカードは11個のプローブユニット10を備えている。プローブカード全体としては、ウェーハ12上のすべてのメモリチップの電極に同時に接触できるだけのプローブ針を備えている。各プローブユニットの配線板は、ウェーハ12の表面に対して垂直方向に延びている。ウェーハ12をプローブカードに押し付けると、すべてのチップの電極がプローブ針に接触する。そして、テスタを用いて全チップの検査を並列に実行する。これにより、1回の検査時間でウェーハ上の全チップの検査が完了する。
請求項（抜粋）：
ウェーハ上の多数の集積回路チップを検査するためのプローブカードにおいて、複数のプローブユニットと、これらのプローブユニットを支持する基台と、前記プローブユニットと外部のテスタとを電気的に接続するための配線板とを備え、前記プローブユニットは、複数の集積回路チップの電極に同時に接触可能な多数のプローブ針と、前記ウェーハの表面に対して垂直方向に延びる配線板と、プローブユニットを前記基台に取り付けるための支持体とを備えることを特徴とするプローブカード。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 1/073
, G01R 31/28
G01R 31/28 K
, G01R 31/28 Y
