特許
J-GLOBAL ID:200903097665625850

クリーンルームの入室・退室管理方法及びその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高月 亨
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-009726
公開番号(公開出願番号):特開平8-200761
出願日: 1995年01月25日
公開日(公表日): 1996年08月06日
要約:
【要約】【目的】 簡明な構成で、特に大きなスペースや、構造物の新たな設置や改造も特に必要とせずに、容易に設けることができ、かつ確実に入退管理を行うことができて、無許可侵入者の立ち入りをも制限できる構成にすることが容易なクリーンルームの入室・退室管理方法及びその装置を提供する。【構成】 クリーンルーム5への少なくとも入室時に通過するエアーシャワーに人員認識のための非接触自動認識手段を設け、エアーシャワー内にはクリーンルームへの入室時にエアーシャワー送風及びクリーンルーム側扉を開にする入室時スイッチ3aと、クリーンルーム5からの退室時に出入り口扉を開にする退室時スイッチ3bとを備え、例えば出入り口扉1とクリーンルーム側扉2とがともに閉の時に室4内の人員の認識(識別)を非接触自動認識手段で行い、入室時又は退室時スイッチ3a,3bのオンにより入室又は退室の方向性の識別を行う。
請求項(抜粋):
クリーンルームへの少なくとも入室時に通過するエアーシャワーに人員認識のための非接触自動認識手段を設けて、人員認識を行い、かつ入室または退室の方向性の識別を行ってクリーンルームの入室・退室の管理を行う構成としたことを特徴とするクリーンルームの入室・退室管理方法。
IPC (2件):
F24F 7/06 ,  H01L 21/02

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