特許
J-GLOBAL ID：200903097669805020
レーザ放電タイミング自動調整装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-029659
公開番号（公開出願番号）：特開平5-226743
出願日： 1992年02月17日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】【目的】本発明は、レーザ発振装置の放電タイミング調整及びレーザ発振系間のタイミング調整を容易化することを目的とするものである。【構成】放電タイミングおよび複数段のレーザ発振系間のタイミングを調整するレーザ放電タイミング自動調整装置において、時間原点となるマスタータイミング信号を発生するタイミング発生手段と、そのマスター信号を受けてから所定遅延時間経過後に放電タイミング信号を出力する遅延手段と、マスター信号を受けてから所定遅延時間経過後に測定タイミング信号を出力する遅延手段と、レーザ発振系毎に放電回路の放電タイミングを測定する測定手段と、各レーザ発振系の設定遅延時間を調整する遅延時間設定手段とを備え、各放電回路の放電遅延時間に対して放電遅延時間よりも大きな値のレーザオフセットを各レーザ発振系毎に設定し、そのレーザオフセットが一定となるように制御する。
請求項（抜粋）：
光学的に直列に接続された複数のレーザ発振器に各々対応する複数の放電回路からレーザ発振タイミング信号を供給することにより増幅されたレーザ光を生成するレーザ発振系が複数段設けられ、各レーザ発振系における複数の放電回路の放電タイミングおよび複数段のレーザ発振系間のタイミングを調整するレーザ放電タイミング自動調整装置において、タイミング調整の時間原点となるマスタータイミング信号を発生するマスタータイミング発生手段と、前記マスタータイミング信号を受けてから予め設定されている遅延時間経過後に、各放電回路を放電させるための放電タイミング信号を出力する制御用タイミング遅延手段と、前記マスタータイミング信号を受けてから予め設定されている遅延時間経過後に測定タイミング信号を出力する測定用タイミング遅延手段と、各レーザ発振系毎に複数の放電回路の放電タイミングを測定する放電タイミング測定手段と、この放電タイミング測定手段によって測定された放電タイミングと各レーザ発振系ごとの理想放電タイミングとから、各レーザ発振系の前記制御用タイミング遅延回路の設定遅延時間を調整する遅延時間設定手段とを備え、前記各放電回路の放電遅延時間に対して前記放電遅延時間よりも大きな値のレーザオフセットを各レーザ発振系毎に設定し、そのレーザオフセットが一定となるように制御することを特徴とするレーザ放電タイミング自動調整装置。
引用特許：
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