特許
J-GLOBAL ID：200903097671748327
固体撮像装置及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-200723
公開番号（公開出願番号）：特開平10-050975
出願日： 1996年07月30日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】オーバフロー障壁形成時のフォトレジスト工程数削減、かつ、掃き出し効率の向上。【解決手段】水平CCDレジスタHRのチャネルに沿って、オーバフロー障壁部OFBが設けられており、さらにオーバフロー障壁部OFBには3μm程度のオフセット領域OSがありそれを介して、オーバフロードレイン(12)が設けられている。オーバフロー障壁を形成するためのP型拡散層4-1、垂直CCDレジスタVRの構成要素であるP型拡散層4とは同時に形成されている。
請求項（抜粋）：
表面部にP(又はN)型領域を有する半導体基板と、前記P(又はN)型領域の表面部に設けられた第1のN(又はP)型拡散層、前記第1のN(又はP)型拡散層の底面に接して前記P(又はN)型領域に設けられた第1のP(又はN)型拡散層及び前記第1のN(又はP)型拡散層上に設けられた垂直転送電極群を含む複数の並行配置された垂直CCDレジスタと、前記P(又はN)型領域の表面部に複数の前記第1のN(又はP)型拡散層に連結して設けられた第2のN(又はP)型拡散層及び前記第2のN(又はP)型拡散層上に設けられた水平転送電極群を含む水平CCDレジスタと、前記水平CCDレジスタに連結するオーバフロー障壁部と、前記オーバフロー障壁部に連結するオーバフロードレイン領域とを有する固体撮像装置において、前記オーバフロー障壁部が前記第2のN(又はP)型拡散層を延在した第3のN(又はP)型拡散層及び前記第3のN(又はP)型拡散層の底面に接して前記P(又はN)型領域に前記第1のP(又はN)型拡散層と同時に形成された第2のP(又はN)型拡散層を有し、前記第3のN(又はP)型拡散層内のチャネル電位が前記第2のP(又はN)型拡散層上で前記第2のN(又はP)型拡散層内より低(又は高)くなされていることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (4件)：
H01L 27/148
, H01L 29/762
, H01L 21/339
, H04N 5/335
H01L 27/14 B
, H04N 5/335 F
, H01L 29/76 301 A
, H01L 29/76 301 D
