特許

J-GLOBAL ID：200903097672835134

有機金属化合物

発明者： ルートヴイヒ ポール ,  ヘルベルト シユーマン ,  ヴイルフリート ヴアツサーマン ,  ウヴエ ハルトマン ,  トーマス ゾイス
出願人/特許権者： メルク パテント ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフトング
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-097295
公開番号（公開出願番号）：特開平5-125081
出願日： 1992年03月25日
公開日（公表日）： 1993年05月21日
要約：

【要約】【目的】 化学的に敏感でなく、取扱いが簡単であり、また液相または固相から金属を析出するのに適したアルキル金属化合物を提供すること。【構成】 二重に分子内的に安定化された、元素Al、GaおよびInの有機金属化合物であって、液相または固相からの析出によって薄膜およびエピタキシャル層を作成するためにこれらの有機金属化合物を使用する。

請求項（抜粋）：

式I【化1】[式中、Mはアルミニウム、ガリウムまたはインジウムであり、Xは-CH、Nまたはそれぞれの場合にo、o′部位をYで置換した5もしくは6員の芳香族環、複素環または脂肪族環であり、Yは-(CH2 )n -NR3 R4、-(CH2 )n -PR3 R4、-(CH2 )n-AsR3 R4 または-(CH2 )n -SbR3 R4(但し、nは1、2または3である)であり、そしてR1 、R2 、R3 およびR4 は、それぞれ互いに独立して、水素または部分的または完全にフッ素化されていてもよい1〜8個の炭素原子を有するアルキル基である]の有機金属化合物。

IPC (3件)：

C07F 5/00 ,  C07F 5/06 ,  C23C 16/18