特許

J-GLOBAL ID：200903097673688275

ダイヤモンド層を含む多層膜構造、それを有する光デバイス、およびその作製方法

発明者： 尾内 敏彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 加藤 一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-051076
公開番号（公開出願番号）：特開平10-233558
出願日： 1997年02月19日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】熱伝導性が高いダイヤモンド層を含む多層膜反射ミラーなどの多層膜構造、それを有する光デバイス、およびその作製方法である。【解決手段】多層膜構造は、ヘテロエピタキシャル成長してなるダイヤモンド層部を少なくとも部分的に含むダイヤモンド層2を有する。ダイヤモンド層2を第1層として有し、その上に他の材料の薄膜3とダイヤモンド層2を交互に成長して成る。多層膜構造は多層膜反射ミラーなどとして形成されて、面発光型半導体レーザなどの光デバイス中に用いられる。

請求項（抜粋）：

ヘテロエピタキシャル成長してなるダイヤモンド層部を少なくとも部分的に含むダイヤモンド層を有することを特徴とする多層膜構造。

IPC (5件)：

H01S 3/18 ,  C23C 16/26 ,  C30B 29/04 ,  C30B 29/06 504 ,  G02B 5/08

FI (6件)：

H01S 3/18 ,  C23C 16/26 ,  C30B 29/04 D ,  C30B 29/04 P ,  C30B 29/06 504 F ,  G02B 5/08 A