特許
J-GLOBAL ID：200903097678906050
流量制御用機器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-126647
公開番号（公開出願番号）：特開2003-316431
出願日： 2002年04月26日
公開日（公表日）： 2003年11月07日
要約：
【要約】【課題】 仕様変更を行った後でも、定格メイバンの貼り替えを行なう必要がなく、いつでも正確な仕様を知ることができる流量制御用機器を提供する。【解決手段】 取り扱う流量制御ガスGの種類および/または流量を設定して、その仕様S0 〜S2 を変更可能とするマスフローコントローラ1であって、変更後の仕様S2 を表示する電子ペーパーからなる表示部3(3A,3B)を有する。
請求項（抜粋）：
取り扱う流体の種類および/または流量を設定して、その仕様を変更可能とする流量制御用機器であって、変更後の仕様を表示する表示部を有することを特徴とする流量制御用機器。
Fターム (2件)：
引用特許：
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