特許
J-GLOBAL ID：200903097679136509
浮上装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-325948
公開番号（公開出願番号）：特開2000-136024
出願日： 1998年10月30日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：
【要約】【課題】浮上対象物を安定的に浮上させることが可能で、かつ位置決めの容易な浮上装置を提供しようとするものである。【解決手段】上部に平面を有する通気性多孔質材5を通して上方へ気体を噴出させる気体供給手段3を備え、平面と浮上対象物4の下面との間に形成される気体層によって浮上対象物4を浮上させるようにするとともに、通気性多孔質材5の平面を傾斜させるようにした。
請求項（抜粋）：
上部に平面を有する通気性多孔質材と、前記通気性多孔質材を通して上方へ気体を噴出させる気体供給手段とを備え、前記平面と浮上対象物の下面との間に形成される気体層によって浮上対象物を浮上させるようにするとともに、前記通気性多孔質材の平面を傾斜させた浮上装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B65G 49/06 Z
, H01L 21/68 A
5F031CA02
, 5F031CA04
, 5F031GA63
