特許
J-GLOBAL ID：200903097679811010
対象物検出方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-022177
公開番号（公開出願番号）：特開平5-190634
出願日： 1992年01月10日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：
【要約】【目的】 テンプレートを用いて対象物の目標位置を検出するにあたり、検査対象物の位置ずれ、それによる測定ポイントへの影響を解決する。【構成】 検査対象物の基準パターン801を検出するにあたり、2個のテンプレート803a,803bを用いる。テンプレート803aは基準パターン801の水平方向の形状を検出する。テンプレート803bは基準パターン801の垂直方向の形状を検出する。【効果】 検査対象物の水平方向と垂直方向などに個々のテンプレートを設定することにより、検査対象物の位置ずれを吸収することができる。
請求項（抜粋）：
テンプレートを用いて対象物の目標位置を検出する方法において、検査対象物に対して複数のテンプレートを組合せて配置し、各テンプレートの検出結果により目標位置を検出することを特徴とする対象物検出方法。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, H01L 21/68
, H05K 3/00
