特許

J-GLOBAL ID：200903097685570687

固体撮像素子用マイクロレンズアレイ及びそれを用いた固体撮像素子並びにそれらの製造方法

発明者： 古賀 修 ,  石松 忠
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-109798
公開番号（公開出願番号）：特開2000-307090
出願日： 1999年04月16日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】光電変換素子の受光部の受光効率を上げ、固体撮像装置の感度や画質を向上できる固体撮像素子用マイクロレンズアレイ及び固体撮像素子を提供することを目的とする。【解決手段】半導体基板11に受光部12、遮光部13、平坦化層14、カラーフイルター層15及びオーバーコート層16を形成した固体光電変換素子10を作製し、オーバーコート層16上に感光層からなる下地層21を形成し、パターニング処理した後、350nm以下の紫外線を露光して、下地パターン層21aを形成する。さらに、感光層からなるレンズ形成層22を形成し、パターニング処理を行って、波長350nm〜400nmの紫外線を露光してレンズ形成パターン層22aを形成し、加熱フローさせてマイクロレンズ22b及びマイクロレンズアレイアレイ23が形成された固体撮像素子100を得る。

請求項（抜粋）：

水平方向と垂直方向に二次元的に配置された受光部を有する固体撮像素子上に形成されたマイクロレンズアレイにおいて、熱フロー性の低い下地パターン層と熱フロー性の高いマイクロレンズの2層で構成されていることを特徴とする固体撮像素子用マイクロレンズアレイ。

IPC (4件)：

H01L 27/14 ,  G02B 3/00 ,  H01L 21/027 ,  H04N 5/335

FI (6件)：

H01L 27/14 D ,  G02B 3/00 A ,  H04N 5/335 U ,  H04N 5/335 V ,  H01L 21/30 571 ,  H01L 21/30 573

Fターム (23件)：

4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA09 ,  4M118CA02 ,  4M118FA06 ,  4M118GB03 ,  4M118GB07 ,  4M118GB11 ,  4M118GC08 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024AA01 ,  5C024CA12 ,  5C024CA31 ,  5C024DA01 ,  5C024EA04 ,  5C024FA01 ,  5C024FA12 ,  5C024GA01 ,  5F046NA05 ,  5F046NA14 ,  5F046NA19 ,  5F046PA12