特許

J-GLOBAL ID：200903097687530054

X線回折装置

発明者： 尾形 潔 ,  中野 朝雄 ,  末永 和史
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-053967
公開番号（公開出願番号）：特開平6-265489
出願日： 1993年03月15日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：

【要約】【目的】 X線回折パターンの測定および解析を自動的に行い、結晶粒の配向性を迅速に解析し得るX線回折装置を提供すること。【構成】 被測定試料4を保持しかつ少なくとも入射X線の回りに回転させる試料回転機構8を備えた試料台9と、前記試料4に所定の入射角度で白色X線を照射するX線源1と、前記試料4から回折される回折X線5を測定し出力するX線検出器6と、前記各部を制御し、かつ前記X線検出器6からの測定値より回折角2θを演算し、試料4の回転角φと回折X線5の回折角2θとを合成し、X線回折図形を作成するコンピュータ12とを備えて構成した。

請求項（抜粋）：

被測定試料を保持しかつ少なくとも入射X線の回りに回転させる機構を備えた試料台と、前記試料に所定の入射角度で白色X線を照射するX線源と、前記試料から回折される回折X線を測定し出力するX線検出器と、前記各部を制御し、かつ前記X線検出器からの測定値より回折角を演算し、試料の回転角と回折X線の回折角とを合成し、X線回折図形を作成するコンピュータとを備えて構成したことを特徴とするX線回折装置。