特許

J-GLOBAL ID：200903097691256641

位置ずれ及びギャップ検出方法

発明者： 加藤 勝弘
出願人/特許権者： 株式会社ソルテック
代理人 (1件)： 吉原 省三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-123271
公開番号（公開出願番号）：特開平6-307811
出願日： 1993年04月28日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：

【要約】【目的】 干渉せしめられることになる異なる次数の回折光の強度を接近させ、該回折光の干渉縞コントラストを高め、ビート信号の振幅を広げて、信号S/N比を向上せんとするものである。【構成】 周波数f1とf2とわずかに異なる2波長の単色2光束の組2組を、各回折格子36に当てる入射照明光として用い、これらの各組内の+1次と0次、及び0次と-1次の回折光を干渉せしめて各組2つのビート信号を検出すると共に、これらの組内におけるビート信号位相差を求めて、これら組間のビート信号位相差の和と差から2つの物体のX方向位置ずれ及びZ方向ギャップを検出する場合に、前記回折格子36のデューティ比xは0.5以上とする。

請求項（抜粋）：

周波数のわずかに異なる2波長の単色2光束の組を2組、2つの物体の各回折格子に当てる入射照明光として用い、これらの各組内の回折次数の異なる回折光を干渉せしめて各組2つのビート信号を検出すると共に、これらの組内におけるビート信号位相差を求めて、これら組間のビート信号位相差の和及び/又は差から2つの物体のX方向位置ずれ及びZ方向ギャップを検出する位置ずれ及びギャップ検出方法において、前記回折格子のデューティ比につき、干渉せしめられることになる異なる回折次数の回折光の強度を接近せしめ、得られる回折光の干渉縞コントラストを高めることができる比に調整することを特徴とする位置ずれ及びギャップ検出方法。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-093307
  
• 特開昭63-042409
  
• 特開平2-093307
  
• 特開昭63-042409