特許

J-GLOBAL ID：200903097693651408

蒸着可能な化合物、MOCVD法の際に使用するための混合物、蒸着可能な化合物の製造法およびアルカリ土類金属を含有する層の析出法

発明者： ギュンター デライン
出願人/特許権者： ゾルファイ バリウム ストロンチウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-059882
公開番号（公開出願番号）：特開平5-239066
出願日： 1992年03月17日
公開日（公表日）： 1993年09月17日
要約：

【要約】【目的】 MOCVD(メタルオーガニックケミカルベイパーデポジション)法の際に使用に関して有利な性質を有するアルカリ土類金属ヘプタンジオネート化合物。【構成】 1H-NMR-スペクトル中で水のプロトンの信号が検出不可能で、一般式:M(R)2〔式中、Mはカルシウム、ストロンチウムまたはバリウムおよびRは2,6-ジメチル-3,5-ヘプタンジオネート、2,2,6-トリメチル-3,5-ヘプタンジオネートまたは2,2,6,6-テトラメチル-3,5-ヘプタンジオネートを表す〕で示される新規の蒸着可能な化合物。

請求項（抜粋）：

一般式I:M(R)2〔式中、Mはカルシウム、ストロンチウムまたはバリウムを表し、Rは2,6-ジメチル-3,5-ヘプタンジオネート、2,2,6-トリメチル-3,5-ヘプタンジオネートまたは2,2,6,6-テトラメチル-3,5-ヘプタンジオネートを表す〕で示される蒸着可能な化合物において、1H-NMR-スペクトル中で水のプロトンの信号が検出不可能であることを特徴とする、蒸着可能な化合物。

IPC (5件)：

C07F 3/00 ,  C07C 49/92 ,  C07F 3/04 ,  C23C 14/12 ,  C23C 16/18