流動型バレル研磨装置およびバレル研磨方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：綿貫達雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-095112
公開番号（公開出願番号）：特開2003-291059
出願日： 2002年03月29日
公開日（公表日）： 2003年10月14日
要約：

【要約】【課題】研磨力を大幅に向上させることができる流動型バレル研磨装置および流動型バレル研磨方法を提供する。【解決手段】研磨槽1、21、31に投入したワークとメディアを槽内にある皿状底盤2、22、32の回転により旋回流動させて混合されたマスを形成してワークを研磨するようにした流動型バレル研磨装置において、皿状底盤2、22、32の回転により生じる遠心力によって研磨槽1、21、31の内壁に沿って上昇するマスを押圧してマスの上昇エネルギーを加圧力に変換させる蓋状加圧板3、23、33を設けた研磨装置、および、前記皿状底盤の回転により生じる遠心力によって研磨槽の内壁に沿って上昇するマスを蓋状加圧板により押圧してマスの上昇エネルギーを加圧力に変換し研磨力を向上させるようにする研磨方法。

請求項（抜粋）：

研磨槽に投入したワークとメディアを該研磨槽内にある皿状底盤の回転により旋回流動させて混合されたマスを形成してワークを研磨するようにした流動型バレル研磨装置において、前記皿状底盤の回転により生じる遠心力によって研磨槽の内壁に沿って上昇するマスを押圧して該マスの上昇エネルギーを加圧力に変換させる蓋状加圧板を設けたことを特徴とする流動型バレル研磨装置。

Fターム (8件)：

3C058AA02 , 3C058AA11 , 3C058AA16 , 3C058AA18 , 3C058AB01 , 3C058AB06 , 3C058CB01 , 3C058CB03

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭60-025648
特開昭50-104494
特開昭50-112889

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