特許

J-GLOBAL ID：200903097694864774

ポジ型感放射線性レジスト組成物

発明者： 中野 律子
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 青木 朗 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-042974
公開番号（公開出願番号）：特開平6-043649
出願日： 1992年02月28日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【目的】 感放射線性ポジ型レジストの破裂とマイクログルーブの相矛盾する問題を解決すること。【構成】 感光剤とアルカリ可溶性ノボラック系樹脂とを含むポジ型感放射線性レジスト組成物において、該樹脂の一部として又は添加剤として下記一般式:【化1】(式中、R1 ,R2 は水素又はアルキル基Cm H2m+1を表わし、mは1〜5である)で表わされる単位からなる成分を含む。

請求項（抜粋）：

感光剤とアルカリ可溶性ノボラック系樹脂とを含むポジ型感放射線性レジスト組成物において、該樹脂の一部として又は添加剤として下記一般式(I):【化1】(式中、R1 ,R2 は水素又はアルキル基Cm H2m+1を表わし、mは1〜5である)で表わされる単位からなる成分を含むことを特徴とするポジ型感放射線性レジスト組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/023 511 ,  H01L 21/027