特許
J-GLOBAL ID:200903097695687086
3次元形状測定装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
渡辺 隆男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-351924
公開番号(公開出願番号):特開平9-178439
出願日: 1995年12月27日
公開日(公表日): 1997年07月11日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 複雑な自由曲面形状を有する被測定物でも精度良く測定できる。【解決手段】 光距離測定器6と、被測定物5と光距離測定器6との間の相対位置を設定・変更する位置設定変更部1〜3、7〜10と、各相対位置を検出する検出部と、光距離測定器6の光軸と平面状の被測定面がなす角度及びその方向ごとの各標準測定誤差を記憶する記憶部14と、各被測定点の単位法線ベクトルを光距離測定器6により測定した各被測定点近傍の複数の別の被測定点にかかる距離データを用いて算出し、さらに各ベクトルと光距離測定器6の光軸とがなす各角度及びその方向を算出する第1機能、各被測定点における測定誤差を算出する第2機能、光距離測定器6により測定した各被測定点までの距離データを用いて、各被測定点までの補正した測定距離を算出する第3機能を有する演算部16と、演算部16により、被測定物の3次元形状データを作成する形状データ作成部17と、を備えた。
請求項(抜粋):
少なくとも、光距離測定器と、被測定物と前記光距離測定器との間の相対位置を設定・変更して、被測定点を設定・変更する位置設定変更部と、前記各相対位置を検出する検出部と、平面状の被測定面を有する標準被測定物について得られた、前記光距離測定器の光軸と前記平面状の被測定面がなす角度及びその方向ごとの各標準測定誤差を記憶する記憶部と、前記各被測定点の単位法線ベクトルを前記光距離測定器により測定した各被測定点近傍の複数の別の被測定点にかかる距離データを用いて算出し、さらに前記各ベクトルと前記光距離測定器の光軸とがなす各角度及びその方向を算出する第1機能、算出した各角度及びその方向と前記記憶部に記憶された各標準測定誤差を用いて、各被測定点における測定誤差を算出する第2機能、及び算出した各被測定点における測定誤差と前記光距離測定器により測定した各被測定点までの距離データを用いて、各被測定点までの補正した測定距離を算出する第3機能を有する演算部と、前記検出部により検出した各相対位置のデータと、前記演算部により算出した各被測定点までの補正した測定距離のデータを用いて、前記被測定物の3次元形状データを作成する形状データ作成部と、を備えた3次元形状測定装置。
IPC (3件):
G01B 11/24
, G01B 21/20 101
, G06F 17/40
FI (3件):
G01B 11/24 C
, G01B 21/20 101 Z
, G06F 15/74 330 A
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