特許
J-GLOBAL ID：200903097698823088
実装済みプリント基板の検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-249025
公開番号（公開出願番号）：特開平7-103733
出願日： 1993年10月05日
公開日（公表日）： 1995年04月18日
要約：
【要約】【目的】 微小ビーム光で実装済みプリント基板上を走査し、その反射光を光電変換素子で受光して基板の表面形状を検査する検査装置において、実装部品が反射光の死角となる場合でも検査を可能にする。【構成】 光源1からの微小ビーム光をポリゴンミラー3で偏向して、基板7上を走査する。照射位置からの反射光を4つの光電変換素子12、13、14、15で受光する。実装部品の近傍では、どれか一つの光電変換素子が死角になるが、これを輝度の差すなわち受光光量の差により区別することで検査を行なう。
請求項（抜粋）：
実装済みプリント基板上を微小ビーム光で走査し、その微小ビーム光の照射位置から互いに異なる方向に反射する反射光を複数の光電変換素子で受光して、前記実装済みプリント基板の表面形状を取得する実装済みプリント基板の検査装置において、光電変換素子の受光光量に応じて多数値化した複数のデータのうちの一つを、受光光量の最も少ない光電変換素子の出力に対応して選択するようにしたことを特徴とする実装済みプリント基板の検査方法。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01N 21/88
, H05K 13/08
