特許
J-GLOBAL ID：200903097711872077
浮上式搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川合 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-345758
公開番号（公開出願番号）：特開平5-184010
出願日： 1991年12月27日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：
【要約】【目的】クリーンルーム内を汚染することなく、搬送時にショックを発生することのない安価で小型の浮上式搬送装置を提供する。【構成】被搬送物11を載置し、導電性の非磁性材料で形成される搬送台12が設けられ、該搬送台12の下に搬送路13が形成される。搬送路13には、交互に配列されたN極とS極を備える円筒状のマグネット16が複数個配設され、回転自在に支持される。該マグネット16は、モータ17によってそれぞれ回転させられ、該モータ17は制御装置18によって制御させられる。上記マグネット16は、搬送台12の各状態に対応して設定された方向に、設定された速度で回転する。制止浮上状態、加速状態、定速状態及び減速状態の切換えを、マグネット16の回転を制御することによって行う。
請求項（抜粋）：
(a)被搬送物を載置し、導電性の非磁性材料で形成される搬送体と、(b)上記搬送体の下方に設けられた搬送路に沿って複数個配設され、交互に配列されたN極とS極を備え、回転自在に支持された円筒状のマグネットと、(c)該マグネットをそれぞれ回転させる駆動手段と、(d)該駆動手段を制御する制御装置を有するとともに、(e)該制御装置は、搬送体の制止浮上状態、加速状態、定速状態及び減速状態のそれぞれに対応して、搬送体の下のマグネットを設定された方向に、設定された速度で回転させる手段を有していることを特徴とする浮上式搬送装置。
IPC (6件)：
B60L 13/04
, B60L 13/10
, B61B 13/08
, B61D 27/00
, B65G 54/02
, H01L 21/68
