特許

J-GLOBAL ID：200903097714792236

減圧乾燥方法及び装置

発明者： 仁科 耕一 ,  須山 聰 ,  鳥羽 正司 ,  小池 明夫 ,  新井 進 ,  武井 寿雄 ,  村上 雄一 ,  岩波 秀幸
出願人/特許権者： 中原化興株式会社 ,  長野県
代理人 (1件)： 三枝 弘明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-104750
公開番号（公開出願番号）：特開平7-286775
出願日： 1994年04月18日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：

【要約】【目的】 乾燥室内を急激に減圧した後に外部気体を被処理物に向け吹き付けることにより、大量に付着した水を迅速かつ確実に乾燥させる。【構成】 乾燥室1に部品4を収容して、電磁弁Bを開くことにより乾燥室1内を急激に減圧し、所定の圧力に至った時点で電磁弁Dを開く。電磁弁Dを開くと外部空気が導入ノズル8を介して部品4に吹き付けられるため、部品4に付着した大量の水は周囲に吹き飛ばされる。このとき、回転テーブル5を回転させると外部空気が部品4の全体に均一に吹き付けられる。ヒータ6は、部品4を放射加熱により加熱するとともに外部空気により周囲に吹き飛ばされた水をその表面上から気化させる。その後、電磁弁Dは閉鎖されて再び乾燥室1内は減圧され、所定の真空度まで到達するようになっているので、部品4に付着した残りの水は、減圧過程において気化され、排気される。

請求項（抜粋）：

減圧系により乾燥室内を減圧して乾燥室内に収容された被処理物を乾燥させる減圧乾燥方法において、前記減圧系により前記乾燥室を急速に減圧する工程と、その後前記乾燥室の導入弁を開放して気体を導入し、この導入した気体を前記被処理物に直接吹きつける工程と、さらに、前記導入弁を閉鎖して再び前記乾燥室内を減圧する工程とを有することを特徴とする減圧乾燥方法。