特許

J-GLOBAL ID：200903097716003743

酸素センサ素子の製造方法

発明者： 堀田 泰道 ,  藤井 並次 ,  杉野 浩 ,  佐野 博美 ,  柴田 真弘
出願人/特許権者： 日本電装株式会社
代理人 (1件)： 高橋 祥泰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-208025
公開番号（公開出願番号）：特開平8-050114
出願日： 1994年08月08日
公開日（公表日）： 1996年02月20日
要約：

【要約】【目的】 膜厚が均一で,かつ気泡の少ない被毒物トラップ層を形成することができ,被毒物トラップ効果に優れ,センサ特性の安定した,酸素センサ素子の製造方法を提供すること。【構成】 酸素検知素子の検出ガス側の表面を,平均粒径2〜50μmの粗い耐熱金属酸化物粒子を分散させたスラリーにディッピングして,酸素センサ素子の保護層の表面にスラリーを付着させ,その後,乾燥し,焼き付けることにより,膜厚10〜500μmの多孔質な被毒物トラップ層を形成する。ディッピングは,上記スラリーを予め脱気し,強く攪拌し,攪拌停止後に行う。スラリーの脱気は,10kPa以下の減圧下で,30分間以上行うことが好ましい。

請求項（抜粋）：

固体電解質の表面に一対の電極を形成し,上記固体電解質の検出ガス側の表面を多孔質の保護層により被覆して,酸素検知素子を作製し,次いで,上記保護層の表面を,平均粒径2〜50μmの耐熱金属酸化物粒子を分散させたスラリー中にディッピングして,上記保護層の表面に上記スラリーを付着させ,その後,乾燥し,上記耐熱金属酸化物粒子を焼き付けることにより,膜厚10〜500μmの多孔質の被毒物トラップ層を形成する酸素センサ素子の製造方法であって,上記ディッピングは,上記スラリーを予め脱気し,強く攪拌し,攪拌停止後に行うことを特徴とする酸素センサ素子の製造方法。