特許
J-GLOBAL ID：200903097719783898
鏡面ウエーハの接合方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-252821
公開番号（公開出願番号）：特開平9-097755
出願日： 1995年09月29日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 本発明は、複雑で大規模な装置等を用いずに、比較的簡易的な方法で接合を行うことができ、また熟練作業者の手動操作を必要としない自動化が可能で、生産効率に優れ、しかも接合部におけるボイドの発生を防止できる優れた鏡面ウエーハの接合方法及びその装置を提供する。【解決手段】 同形の2枚の鏡面ウエーハの鏡面同士を重ね合わせて接合するための装置であって、前記第1の鏡面ウエーハW1 に第2の鏡面ウエーハを、その鏡面同士を互いに対向し、前記第2のウエーハW2 の自重による分力以上の荷重が、前記第1のウエーハW1 にかからないように静かに重ね合わせるための、水平方向に対して70〜90°の角度で固定された支持台4と、前記支持台4の一端に取り付けられる押圧駆動部5と、前記押圧駆動部5から延びる押圧アーム6と、前記押圧アーム6の先端に取り付けられ、前記両鏡面ウエーハ中の第2の鏡面ウエーハW2 の面取り角部10に押し当てて押圧する凸型曲面形状の押圧部材7とを備えた鏡面ウエーハの接合装置。
請求項（抜粋）：
同形の2枚の鏡面ウエーハの鏡面同士を重ね合わせて接合する方法であって、予め水平方向に対して70°〜90°の角度で固定された支持台に、第1の鏡面ウエーハをその鏡面側が表になるようにして凭せ掛け、これに第2の鏡面ウエーハの鏡面を前記第1のウエーハ鏡面と互いに対向し、前記第2のウエーハの自重による分力以上の荷重が、前記第1のウエーハにかからないように静かに重ね合わせた後、該第2のウエーハの面取り角部の一端に、凸型曲面形状の弾性体からなる押圧部材の稜線を押し当てて軽く押圧し、その押圧部分より2枚の鏡面ウエーハの接合を開始させることを特徴とする鏡面ウエーハの接合方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/02 B
, H01L 27/12 B
