特許

J-GLOBAL ID：200903097720136952

弾性誘電体ポリマフィルム音波アクチュエータ

発明者： ペルリン・ロナルド・イー. ,  コーンブラ・ロイ・ディー. ,  エッカール・ジョセフ・エス.
出願人/特許権者： エス アール アイ・インターナショナル
代理人 (1件)： 五十嵐 孝雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-534911
公開番号（公開出願番号）：特表2001-524278
出願日： 1998年02月06日
公開日（公表日）： 2001年11月27日
要約：

【要約】音波アクチュエータは、第1表面および第2表面を有する弾性誘電体ポリマ層と、第1表面と接触する第1可撓性電極層と、第2表面と接触する第2可撓性電極層とを有する多層薄膜を備える。音波アクチュエータはさらに、音波アクチュエータフィルムに接触する支持構造を備える。誘電体ポリマは、本質的に、シリコーン、フッ化シリコーン、フッ化エラストマ、天然ゴム、ポリブチレン、ニトリルゴム、イソプレンおよびエチレン・プロピレン・ジエンから構成される群から選択されることが好ましい。また、可撓性電極層は、本質的に、グラファイト、カーボン、導電性ポリマおよび金属薄膜から構成される群から選択されることが好ましい。支持構造は複数の孔を有するグリッドであってもよい。電圧が電極に印加されると、電歪減少に起因して、支持構造の孔において保持されているフィルム部分が膨らみ得る。結果として得られる「気泡」は、音波振動を生成するために変調されてもよく、あるいは、気流制御のための可変表面を形成するために用いられてもよい。

請求項（抜粋）：

音波アクチュエータであって、 第1表面および第2表面を有する弾性誘電体ポリマ層と、 前記第1表面と接触する第1可撓性電極層と、 前記第2表面と接触する第2可撓性電極層と を有する多層薄膜と、 前記音波アクチュエータフィルムに接触する支持構造とを備える音波アクチュエータ。

IPC (4件)：

H04R 17/00 ,  E04B 1/82 ,  G10K 11/178 ,  H04R 1/00 310

FI (4件)：

H04R 17/00 ,  E04B 1/82 A ,  H04R 1/00 310 F ,  G10K 11/16 H

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭51-081120
  
• 特開昭54-045593
  
• 特開昭61-099499
  
• 特開昭56-101788