窒化珪素質焼結体の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-330790
公開番号（公開出願番号）：特開平7-187799
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月25日
要約：

【要約】【構成】窒化珪素が30〜80重量%、珪素が19.5〜69.5重量%および周期律表第3a族元素酸化物の1種以上が0.5〜30重量%の組成からなる成形体を窒素含有雰囲気中で前記珪素の窒化により全窒化珪素量に対するβ-窒化珪素量が15%〜50%となるように窒化処理した後、さらに窒素を含む非酸化性雰囲気で焼成して針状の窒化珪素結晶を生成せしめる。【効果】寸法精度に優れるとともに、室温強度および破壊靱性に優れた窒化珪素質焼結体を提供できる。

請求項（抜粋）：

窒化珪素が30〜80重量%、珪素が19.5〜69.5重量%および周期律表第3a族元素酸化物の1種以上が0.5〜30重量%の組成からなる成形体を窒素含有雰囲気中で全窒化珪素量に対するβ-窒化珪素量が15%〜50%となるように窒化処理した後、さらに窒素を含む非酸化性雰囲気で焼成し針状の窒化珪素結晶を生成せしめることを特徴とする窒化珪素質焼結体の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭55-071672
特開昭64-052678
特開平1-100064

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