特許
J-GLOBAL ID：200903097728442866
異物検査分析装置及び異物検査分析方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-025799
公開番号（公開出願番号）：特開平6-313756
出願日： 1994年02月24日
公開日（公表日）： 1994年11月08日
要約：
【要約】【目的】 異物の検査と分析とを同じレベルで行い、座標変換や分解能の差に因る問題点を解消し、検査時間を短縮させ、しかも小型で安価な異物検査分析装置及び異物検査分析方法を提供する。【構成】 異物を照射した際に生ずる散乱光のうち、弾性散乱光成分の強弱によって異物の存在位置やその大きさを検出し、これと同期的に非弾性散乱光成分のスペクトル分析を行うことによってその異物の成分を同定することができる。
請求項（抜粋）：
検査対象を走査可能に載置する走査手段と、前記検査対象に検査光を斜方照射する投光手段と、前記走査手段の上方で且つ前記検査光の正反射方向以外の方向に配設されて前記検査対象からの散乱光を受光してその受光量に応じた第1の検査信号を出力する第1の受光手段と、前記走査手段の上方で且つ前記検査光の正反射方向以外の方向に配設されて前記散乱光のうち前記検査光とは異なる波長成分の受光量に応じた第2の検査信号を出力する第2の受光手段と、前記第1の検査信号を所定の閾値と比較して異物の存在位置及びその大きさを検出する第1の信号処理手段と、前記第2の検査信号をスペクトル分析して異物の成分を同定する第2の信号処理手段とを具備することを特徴とする異物検査分析装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G01J 3/44
